超精密加工就是在超精密機(jī)床設(shè)備上，利用零件與刀具之間產(chǎn)生的具有嚴(yán)格的約束的相對(duì)運(yùn)動(dòng)，對(duì)材料進(jìn)行微量切削，以獲得極高形狀精度和表面光潔度的加工過(guò)程。本文要講的是精密軸承超精的過(guò)程。

（1）精密軸承的切削磨石表面與粗糙滾道表面的凸峰相接觸時(shí)，由于接觸面積較小，單位面積上的受力較大，在一定壓力作用下，磨石首先受到精密軸承工件的“反切削”作用，使磨石表面的部分磨粒脫落和碎裂，露出一些新的鋒利的磨粒和刃邊。同時(shí)，精密軸承工件的表面凸峰受到快速切削，通過(guò)切削與反切削的作用除去精密軸承工件表面上的凸峰和磨削變質(zhì)層。這一階段被稱為切削階段，在這個(gè)階段切除了大部分的金屬余量。

（2）精密軸承的半切削隨著加工的繼續(xù)進(jìn)行，精密軸承工件表面逐漸被磨平。這時(shí)，磨石與工件表面接觸面積增加，單位面積上的壓力降低，切削深度減小，切削能力減弱。同時(shí)，磨石表面的氣孔被堵塞，磨石處于半切削狀態(tài)。這一階段被稱為精密軸承精加工的半切削階段，在半切削階段精密軸承工件表面切削痕跡變淺，并出現(xiàn)較暗的光澤。

（3）光整階段這個(gè)階段可分為二步：一是研磨過(guò)渡階段；二是停止切削后的研磨階段研磨過(guò)渡階段：磨粒自銳減少，磨粒刃棱被磨平，切屑氧化物開(kāi)始嵌入油石空隙，磨粒粉末堵塞油石氣孔，使磨粒只能微弱切削，伴有擠壓和研光作用，這時(shí)工件表面粗糙度很快降低，油石表面有黑色切屑氧化物附著。停止切削研磨階段：油石和工件相互摩擦已很光滑，接觸面積大大增加，壓強(qiáng)下降，磨粒已不能穿破油膜與工件接觸，當(dāng)支承面的油膜壓力與油石壓力相平衡時(shí)，油石被浮起。其間形成油膜，這時(shí)已不起切削作用。這個(gè)階段為超精加工所特有的。

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